포토리소그래피
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작성일 22-11-09 09:52
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레포트/공학기술
개 요
▪ Photolithography의 definition
▪ Photolithography의 세부 공정 및 재료
TFT 부분
COLOR FILTER 부분
▪ Photolithography의 현 사용실태 및 기업 분포
▪ 앞으로 개선방향과 展望
1.필름전사법:
안료분산법과 거의 비슷한 기술로서 Color PR을 사용하여 코팅하는 공정이 필름을 사용하여 Lamination하는 공정으로 바뀐것이 다르다. 이 기술은 안료분산법의 PR코팅 공정이 느리고 이 공정에서 불량이 많이 발생하는데에 착안을 하여 개발한 기술로서, 생산성이 높은 것이 장점(長點)이나 Lamination 공정에서 불량이 많이 발생하는 것으로 알려져 있다
2. Bubble-Jet (Ink Jet) 방법
염료를 사용 잉크흡수층 위에 RGB를 한번에 인쇄하는 방식이다.
다.